Les Micro et Nano-Electro-Mechanical-System (MEMS/NEMS) sont de plus en plus présents dans les systèmes électroniques et permettent le développement d’applications toujours plus nombreuses, dans des domaines comme l’automobile, l’aéronautique, les télécommunications, le multimédia, la biomédecine, …
Cette UE se propose d’aborder la thématique des MEMS/NEMS en s’intéressant :
- Au marché des MEMS et à son évolution.
- Aux effets d’échelles : Les lois physiques à l’échelle macroscopique restent-t-elles valables aux échelles microscopiques?
- Aux procédés de fabrication (microtechnologies). Cette partie fera d’ailleurs l’objet de 16h de TP au CIME (Centre Interuniversitaire de Microélectronique de Grenoble).
- Aux principes de fonctionnement de quelques MEMS (accéléromètre, capteurs de pression, gyroscopes, ..)
Enfin, la microfluidique, qui s’intéresse à l'étude et aux applications des écoulements de fluides aux très petites échelles, sera abordée en fin de cours. Cette science très pluridisciplinaire, qui concernera bientôt 25% du futur marché des MEMS, sera l'occasion pour les étudiants d’acquérir une culture scientifique nouvelle et originale. Nous y proposerons quelques éléments théoriques, mais aussi, et surtout, des exemples de réalisations concrètes.
